光刻和刻蚀他们倒是知道,但薄膜沉积和离子注入,就比较陌生了。
李暮闻言转过身,道:“这是我根据国外资料,做出的对集成电路工艺难题的推论。”
“哦,推论的依据是什么?你不妨举个例子。”有专家立刻犀利发问。
毫无根据的结果,无法让他们信服。
李暮微微沉吟,然后道:“这四项工艺是我对集成电路成果的逆推,比如薄膜沉积工艺,就是通过晶圆的表面具有各层电路结构倒推而出。”
听完李暮的回答,下面的专家教授们一琢磨,发现好像还真有几分道理,于是又问道:“那么刻蚀呢?又因为什么?”
“在集成电路的形成过程中,需要光刻胶来复制掩膜图形,而刻蚀就是如何正确地选择清除不需要材料的工艺。”李暮笑道。
说完,他似是知道这些专家和教授们会继续发问,抢先一步开口道:“离子注入主要的作用是形成电阻,在芯片上起到导线和加热器的作用。”
“这种技术,是我通过在传统扩散技术的基础进一步发散后想到的,没有经过实验检验,不一定准确。”
“这里大胆提出,只是想趁着这个机会给各位专家教授提供一个思路。”
在场的专家和教授们心底不由冒出的一个念头:“是够大胆!”
但紧接着,他们又猛地发现:“不对劲啊,怎么说得好像很道理!”
而且李暮的理论,几乎等于给他们搭建了一個相当明晰的集成电路工艺流程框架!
要知道像集成电路这种高精尖的前沿技术,国外都是严防死守,生怕被国内学去。
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